منتجات
الركيزة السيراميك نيتريد السيليكون
- الدوائر المتكاملة (ICs)؛
- إلكترونيات الطاقة.
- مكونات الميكروويف والترددات اللاسلكية؛
- MEMS (الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة)؛
- الطيران والسيارات.
الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون هي مادة متخصصة تستخدم على نطاق واسع في التطبيقات الإلكترونية وأشباه الموصلات المتنوعة. تتكون هذه الركائز بشكل أساسي من نيتريد السيليكون (Si₃N₄)، وهو سيراميك عالي الأداء يتمتع بخصائص حرارية وميكانيكية وكهربائية استثنائية، وتعمل كمنصة حيوية لتركيب المكونات الإلكترونية والدوائر المتكاملة وتوصيلها فيما بينها.
خصائص الركيزة السيراميك نيتريد السيليكون
توصيل حراري
تشتهر ركائز سيراميك نيتريد السيليكون بموصليتها الحرارية الرائعة، والتي تلعب دورًا حاسمًا في تبديد الحرارة بكفاءة. تعتبر هذه الخاصية مفيدة بشكل خاص في التطبيقات التي تتطلب إدارة دقيقة لدرجة الحرارة، بما في ذلك أجهزة أشباه الموصلات عالية الطاقة وإلكترونيات الطاقة.
القوة الميكانيكية
يُظهر نيتريد السيليكون قوة ميكانيكية مذهلة ومرونة. يسمح معامل التمدد الحراري المنخفض لها بالحفاظ على السلامة الهيكلية عبر نطاق واسع من درجات الحرارة.
عزل كهربي
إحدى سماته الأساسية هي قدرته المتميزة على العزل الكهربائي، مما يجعله لا غنى عنه في الأجهزة والدوائر الإلكترونية التي تتطلب عزلًا كهربائيًا.
مقاومة كيميائية
يتميز نيتريد السيليكون بمقاومته العالية للتآكل الكيميائي، مما يجعله خيارًا موثوقًا به في البيئات التي يكون فيها التعرض للمواد الكيميائية العدوانية أمرًا مثيرًا للقلق.
خصائص عازلة
إن الخصائص العازلة الملائمة لنتريد السيليكون تجعله لا يقدر بثمن في مجال الإلكترونيات الدقيقة. يتم استخدامه على نطاق واسع في إنتاج الدوائر المتكاملة وأجهزة الأغشية الرقيقة حيث يكون العزل الكهربائي الدقيق أمرًا حيويًا.
ورقة بيانات الأدوات

تطبيقات ركائز السيراميك نيتريد السيليكون
الدوائر المتكاملة (ICs)
ركائز نيتريد السيليكون هي المادة الأساسية لتصنيع الدوائر المتكاملة، وخاصة في التطبيقات عالية التردد وعالية الطاقة.
إلكترونيات الطاقة
إنها ضرورية في أجهزة الطاقة الإلكترونية مثل الترانزستورات ثنائية القطب ذات البوابة المعزولة (IGBTs) والثنائيات عالية الطاقة لتحسين الإدارة الحرارية والعزل الكهربائي.
مكونات الميكروويف والترددات اللاسلكية
تعتبر ركائز نيتريد السيليكون حاسمة في تطوير مكونات الموجات الدقيقة والترددات الراديوية (RF)، بما في ذلك المرشحات والرنانات ومكونات الهوائي.
MEMS (الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة)
تستخدم أجهزة MEMS في كثير من الأحيان ركائز نيتريد السيليكون نظرًا لتوافقها مع عمليات التصنيع الدقيق وخواصها الميكانيكية الممتازة.
الفضاء والسيارات
يتم نشر مكونات سيراميك نيتريد السيليكون في بيئات ذات درجة حرارة عالية وعالية الضغط في تطبيقات الفضاء والسيارات، مثل الشواحن التوربينية وأنظمة العادم.
تعدين لركائز السيراميك نيتريد السيليكون
1. التنظيف والتحضير
قبل المعدنة، تخضع الركيزة الخزفية من نيتريد السيليكون لعملية تنظيف شاملة لإزالة الملوثات وضمان التصاق جيد للطبقة المعدنية. يتضمن هذا غالبًا التنظيف بالمذيبات والتنظيف بالموجات فوق الصوتية ومعالجة البلازما.
2. طبقة الالتصاق
لتعزيز الالتصاق بين ركيزة نيتريد السيليكون والطبقة المعدنية، يتم عادةً ترسيب طبقة التصاق رقيقة. تشتمل مواد طبقة الالتصاق الشائعة على التيتانيوم (Ti) أو تنغستن التيتانيوم (TiW). يتم تطبيق هذه الطبقة باستخدام تقنيات مثل الرش أو ترسيب البخار الكيميائي (CVD).
3. طبقة المعدنة
يتم بعد ذلك ترسيب الطبقة المعدنية الأولية أعلى طبقة الالتصاق. تشمل المعادن الشائعة المستخدمة في عملية التعدين الألومنيوم (Al)، والنحاس (Cu)، والذهب (Au)، والفضة (Ag). يعتمد اختيار المعدن على التطبيق المحدد ومتطلبات التوصيل الكهربائي. يتم استخدام تقنيات مثل الرش أو التبخر أو الطلاء الكهربائي أو ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لترسيب الطبقة المعدنية.
4. الزخرفة والنقش
بعد ترسيب المعادن، يتم استخدام عملية الطباعة الحجرية الضوئية لتحديد أنماط أو آثار معينة على الطبقة المعدنية. يتم تطبيق مقاوم الضوء، وتعريضه للأشعة فوق البنفسجية من خلال قناع، ثم تطويره لإنشاء نمط. يتم بعد ذلك استخدام النقش الكيميائي أو النقش بالبلازما لإزالة المعادن غير المرغوب فيها، مما يترك وراءه المسارات الموصلة المطلوبة.
5. طبقة التخميل
لحماية السطح المعدني من العوامل البيئية، غالبا ما يتم تطبيق طبقة التخميل. تساعد هذه الطبقة على منع أكسدة وتآكل الآثار المعدنية. يعد ثاني أكسيد السيليكون (SiO₂) أو نيتريد السيليكون (Si₃N₄) من المواد المستخدمة بشكل شائع في طبقات التخميل.
6. التلدين
في بعض الحالات، يمكن إجراء عملية التلدين لتحسين التصاق وتوصيل الطبقة المعدنية. يتضمن التلدين تسخين الركيزة إلى درجة حرارة معينة في جو متحكم فيه.
7. مراقبة الجودة
تتم مراقبة عملية المعدنة عن كثب للتأكد من أن سمك الطبقة المعدنية والتصاقها وخصائصها الكهربائية تلبي المواصفات المطلوبة. يتم استخدام طرق اختبار مختلفة، مثل قياسات مقاومة الصفائح والفحص المجهري، لمراقبة الجودة.
الوسم : الركيزة السيراميك نيتريد السيليكون، الصين، الموردين، الشركات المصنعة، مصنع، الجملة، السعر، للبيع







