يقدم هذا المقال بإيجاز طريقة لتحسين حياة فوهات نيتريد البورون ، المستمدة من ورقة بحثية من قبل لي بي وغوو Fengping. عن طريق إيداع طلاء Si داخل فوهة BN ومن ثم علاجه في درجة حرارة عالية في جو النيتروجين ، يتم تشكيل طلاء Si3N4 كثيف بسماكة معينة في النهاية داخل الفوهة. Si3N4 لديه صلابة موس من 9-9.5 ومعامل التوسع الحراري من 2.75×10-6/C، وهو أكثر توافقا مع مصفوفة BN سداسية. Si3N4 السيليكون نيتريد السيراميك ممتازة ميكانيكا درجة الحرارة العالية، ومقاومة التآكل، ومقاومة التآكل، ومقاومة الأكسدة. يمكن أن تحمي فوهات BN من الأكسدة وتضمن تحسين حياة الفوهة بشكل كبير.
في عملية الرش Fe القائم على شرائط سبيكة غير متبلور (تحتوي على Fe، Si، B)، فوهة نيتريد البورون سداسية على اتصال مع ارتفاع درجة الحرارة (> 1300 درجة مئوية) وذوبان الضغط العالي، والسطح يتأكسد على محمل الجد، وأكسيد البورون شكلت (B2O3) هو ذوبان زجاجي، وهذه المواد يخفف في 450 درجة مئوية ويصبح السائل اللزج في 600 درجة مئوية. تحت تأثير ذوبان الضغط العالي ، يتم نفخ أكسيد البورون بسهولة ، ويتوسع القطر الداخلي للفوهة بسرعة ، مما يؤدي إلى الفشل. ومن اجل حل هذه المشكلة اقترح لى بى وقوه فنغ بينغ الطريقة التالية .
من أجل إطالة عمر خدمة فوهة السيراميك BN، عن طريق إيداع طلاء سي داخل فوهة BN ومن ثم علاجه في درجة حرارة عالية في جو النيتروجين، يحدث رد فعل تغيير: 3Si +2N2 = -Si3N4. وأخيرا، يتم تشكيل طبقة كثيفة من طلاء Si3N4 مع سمك معين داخل فوهة، وتقارب الطلاء هو أفضل، ومعامل التوسع متسقة نسبيا. كمية ترسب من طلاء Si3N4 هو 0.15 ~ 0.20mm، أكبر كمية ترسب سيجعل الطلاء سهلة لتسقط، أصغر كمية ترسب ليست مقاومة بما فيه الكفاية لتآكل. درجة حرارة المعالجة 900 ~ 1000 درجة مئوية. وقت المعالجة هو 0.5 ~ 1.5 ساعة لضمان تأثير المعالجة.
